加速度传感器工作原理

发布时间： 2021-05-25　　点击次数： 962次

电容式加速度传感器,多种量程可选：2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低频振动，倾斜测量MEMS加速度传感器，采用变电容原理（当敏感元件受到加速度作用产生偏移，引起电容成比例变化）；该传感器MEMS敏感元件具有良好的低频和直流响应特性，体积小、重量轻、全密封、壳体硬质铝氧化可靠隔离，特别适合于分析低频或恒定加速运动。

主要技术指标：

灵敏度（20±5℃）	1000 mV/g
测量范围（峰值）	±1 g
大横向灵敏度	≤5 ％
频率响应(-3dB)	0～ 800 Hz
非线性	≤0.5％
工作温度范围	-40～+120 ℃
温度响应	见温度曲线
冲击极限(无供电)	5000 g
灵敏度温度系数	0.3 %/℃
噪声	＜45 ug/√Hz
输出阻抗	＜100 Ω
供电电源	+6～+16 VDC
工作电流	≤5 mA
零g偏置电压	2.5±0.1 V
安装	4-φ2.8孔
壳体材料	不锈钢
重量	20 g
输出方式	整体三芯屏蔽电缆线红线：正电源；白线：地；绿线：输出

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